氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定
inficon氦气检漏仪
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。
氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；氦质谱检漏仪应用制冷行业：冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间发展起来的一种检漏仪，其灵敏度高达10-15pa:m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。喷吹法检漏是利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，然后在被检产品外表面喷吹氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，检漏仪会报警并显示当前漏率值。
氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。
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