氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。
氦质谱检漏仪的构
正压氦质谱真空检漏仪报价
氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。
氦质谱检漏仪的构成
氦质谱仪电气部分的核心是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。
氦质谱检漏仪检漏方式
1、示踪气体A放在容器里面,处于正压,然后用氦质谱检漏仪去检测,容器外围是否有气体A,如果容器外有气体A,则容器有漏。用这种方式能检测出漏点,并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。
2、示踪气体A喷在容器外面,用氦质谱检漏仪去检测容器里面是否有气体A。这种方式能检测出漏点,并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。
如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。
氦质谱检漏仪的特点
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。氦质谱检漏仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在10-3mbar以下,空气的流动才体现为分子流,氦质谱检漏仪才能稳定正常工作。
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