精密光学真空镀膜设备在保养的时候有哪些保养方面的措施,下面的内容中我们就来了解。
一、定期更换扩散泵油:真空镀膜机扩散泵油使用一段时间,约二个月两班:,因在长期高温环境,虽然较高真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,应予更换。
二、
真空电镀设备厂家
精密光学真空镀膜设备在保养的时候有哪些保养方面的措施,下面的内容中我们就来了解。
一、定期更换扩散泵油:真空镀膜机扩散泵油使用一段时间,约二个月两班:,因在长期高温环境,虽然较高真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,应予更换。
二、真空泵:真空镀膜机机械泵油、维持泵油在使用二个月,油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因,而使用油粘性变差,真空下降,故需要更换。如为新设备,在使用头半个月即应更换,因在磨合期,油含磨合铁粉较多,会加剧磨损。
三、清洁卫生:定期将真空镀膜设备及其周围环境卫生搞好,常保持设备内外清洁,将真空镀膜设备周围环境整理有条,有一个好的工作环境,以保安全。
东莞市至成真空科技有限公司从事各种真空镀膜设备制造,致力于研发和生产真空镀膜机,为行业客户提供定制化的工艺解决方案和镀膜设备。
双色真空镀膜机PVD技术的应用范围及优缺点
很多人对真空镀膜机PVD技术的了解不是特别全,也不知道具体是应用到哪些行业,以及它在实际运用过程有哪些优缺点至成真空小编现在详细和大家介绍一下:
真空镀膜机PVD技术其应用范围是:
1)碳钢、合金钢、不锈钢及钛合金等金属材料;
2)金属材料的表面硬度至少需要在HV170以上。
真空镀膜机PVD技术其优点是:
与传统磁控溅射单色PVD技术相比,双色PVD工艺更为复杂,流程更为繁杂,生产难度高,但外观效果,两种颜色的表面硬度都在HV600以上。传统磁控溅射单色PVD技术要在实现双色效果,采取的工艺措施是在整体PVD单色的基础上把需要实现另一种颜色的区域激光镭雕掉或者磨掉。新加工出来的区域就只能表现金属的本色,表面硬度也就是金属本身的表面硬度---HV200左右(而PVD后的表面硬度为HV600以上)。
PVD真空镀膜机镀膜工艺原理
PVD即物理气相沉积,分为:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。我们通常所说的PVD镀膜,指的就是真空离子镀膜和真空溅射镀;通常说的NCVM镀膜,就是指真空蒸发镀膜。PVD真空镀膜机镀膜工艺原理分为以下三种情况:
(1)真空蒸镀基本原理:在真空条件下,使金属、金属合金等蒸发,然后沉积在基体表面上,蒸发的方法常用电阻加热,电子束轰击镀料,使蒸发成气相,然后沉积在基体表面,真空蒸镀是PVD法中使用早的技术。
(2)溅射镀膜基本原理:充Ar(Ar)气的真空条件下,使Ar气进行辉光放电,这时Ar(Ar)原子电离成Ar离子(Ar),Ar离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在l0-2Pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。
(3)离子镀基本原理:在真空条件下,采用某种等离子体电离技术,使镀料原子部分电离成离子,同时产生许多高能量的中性原子,在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下,离子沉积于基体表面形成薄膜。
因此现在市面上有多功能离子真空镀膜机的出现,通过大量试验及工业化应用,本项目得出以下结论:
(1)所设计的多种镀膜技术复合的多功能离子镀膜机是成功的。
(2)该设备可低成本制备表面光洁致密、平滑细腻,性能优异的类金刚石膜及金属氮(或碳)化物多元多层膜。
(3)采用特殊的多层梯度中间过渡层及掺杂技术,降低了内应力,提高了膜/基结合力,有利于膜层生长(厚达6mm)。
(4)所制备DLC膜具有优异的综合性能:硬度>20GPa(高达37.25GPa),厚度可调(厚达6mm),膜/基结合力>50N(高达100N),摩擦系数<0.2,膜层光洁细腻。
(5)所开发出的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC多元多层耐热自润滑涂层具有良好的综合性能:硬度高达28.7GPa,厚度1-4mm可调,膜/基结合力大于70N,摩擦系数小于0.2。
(6)所研制的减摩膜已成功应用于多种高精密工模具以及精密关键部件上。应用结果表明:膜层的表面强化效果显著,可大幅度提高产量及使用寿命。
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