光学微电子净化工程一般包括：洁净生产区洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室管理区(包括办公、值班、管理和休息等)设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原理气流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效空气过滤
无尘洁净室
光学微电子净化工程一般包括：洁净生产区洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室管理区(包括办公、值班、管理和休息等)设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原理气流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效空气过滤器净化重复以上过程，即可达到净化目的。
做十万级无尘车间净化工程的企业都知道，过滤器的安装和密封直接影响洁净室的净化效果。那么过滤器如何安装？固定过滤器的骨架材料须平整并具有良好的刚度，防火和不发尘。铝合金骨架自重轻，一般钢材(槽钢、角钢、T形钢、工型钢和钢板)骨架须防止生锈，表面层应作镀锌处理。施工安装时表面仍难免受到破损，还须用涂料进行局部修补，也可采用钢骨架表面直接喷涂高强耐老化的涂料。无论采用何种骨架，都应注意骨架构件间的连接严密和平整，否则会使安装过滤器的基层界面高低不平，直接影响密封质量。
整个净化工程中所需要安装的净化设备室内若想达到所需的净化效果必须安装新风系统，有：新风过滤箱、中间净化空调（有初效、中效、三个过滤阶段）、末端装有送风口，有需要是还要安装净化增压箱。回风系统的安装，有：回风口、初效过滤器、中效回风箱。在进入无尘车间之前会有一个缓冲区，缓冲区的门安装电子互锁，更衣处放置洁净储物柜。
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