真空系统一般包括：
1）主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa，其抽速应与气载匹配。
2）前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵，在以分子示为主泵的系统中，也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速与主泵匹配。
3）预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵，也有预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽
锂电氦检专机厂家
真空系统一般包括：
1）主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa，其抽速应与气载匹配。
2）前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵，在以分子示为主泵的系统中，也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速与主泵匹配。
3）预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵，也有预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。
4）冷阱。分子泵型真空系统一般不加冷阱。扩散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离，如图5所示。冷阱加入液氮后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。
5）检漏阀。按在质谱室和被检件之间的管道上。有些仪器采用节流阀，控制流入质谱室的气体流量。
6）真空规。一般采用冷阴极磁控放电真室规来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
7）标准漏孔。一般仪器内都附有标准漏孔（大多为薄膜渗氦型），用它来校准仪器的小可检漏率和对仪器输出指示进行定标。
氦质谱检漏仪故障与处理
检漏仪内部泄漏
定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。
氦质谱检漏仪性能试验方法
反应时间、清除时间及其测定
反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到大值的(1-e-1)倍(即O. 63)所需要的时间，记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到大值后，停止送氦，其讯号下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。
工作真空、极限真空及入口处抽速
质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
正压法氦质谱检漏
采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸法和正压累积法。其中正压吸法采用检漏仪吸对被检产品外表面进行扫描探查，可以实现漏孔的；正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，采用检漏仪吸测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量，实现被检产品总漏率的测量。正压法的优点是不需要辅助的真空系统，可以，实现任何工作压力下的检测。正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。正压法主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。
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