真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用
真空计:真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计,真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙
车灯硅油保护镀膜机
真空计是真空磁控溅射镀膜机器上有什么作用
真空计:真空计是真空磁控溅射镀膜机器上的重要组成部分,它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为真空计和相对真空计,真空计可以直接测量压强的高低,相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分,镀膜机器的成膜装置很多,有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式,鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍,因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的大优点在于:电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。成膜控制系统,薄膜监控目前应用方式比较多,主要有:目视监控法,定(极值)值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定(极值)监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控,就是采用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。
真空镀膜机的市场用途
很多消费者对真空镀膜机的概念不是很了解,不知道真空镀膜机的市场用途,其实真空镀膜机的衍生品有很多,而且都是与消费者息息相关,求购镀膜机的朋友一般从事如下行业:一类是以装饰为主,突出其装饰功能,常用在塑胶玩具礼品包装的镀膜,手机外壳,数码产品外壳,视窗,瓷砖镀金等。
另一类是以功能为主,突出镀膜的功能用途。会被如下行业使用:太阳能集热管、眼镜和镜片的增透高反,手机壳的防辐射屏蔽、刀具的加硬、模具加硬等。
以上两类行业都与真空镀膜机有密切关系,所以在生活中,真空镀膜机是十分重要的。
真空镀膜机真空室形变带来的影响为尽量减小
真空镀膜机真空室形变带来的影响
为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响,我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上,其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑,以吸收和隔离形变,并设置形变补偿调节机构,在系统抽真,参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量,以使其在真空状态下达到平衡。
为了验证有限元计算的结果,对真空室的形变和补偿进行了测试。步,将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧,当真空室由大气抽到真空时,记录各千分表的变化量,经化处理后为用激光自准直仪调变补偿。

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