氦质谱检漏真空系统电气部分
除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：
1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。
2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。
5）灯丝保护
氦普检漏仪
氦质谱检漏真空系统电气部分
除了主机供电部件和主机控制部件，还有几组主要电路：
1）离子源电源。为离子源提供加速、聚焦、拒斥电压。
2）发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3）离子流放大器和音响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4）真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控入电真空计测量高真室。
5）灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。
6）其他电路。不同型号的检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差加，这在各自的说明书中都有说明，这里不同赘述。
氦质谱检漏仪性能试验方法
灵敏度及其校准
氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的小漏孔漏率。所谓“佳工作条件”是指仪器参数调整到佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的大波动量。
如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。
浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度。
折叠台式检漏仪
台式检漏仪的显著优点：
(1)适合批量测试使用：该设备包含两台前级泵、高传到液压集成和三个检漏仪，大大缩短检漏周期。
(2)前级泵可选择性：可以根据不同需求选择不能类型的前级泵。
(3)操作简便：自动调整、校准、回零，使得检漏操作简便可靠。
(4)运行稳定：单极开关启动或关闭，阀门，保证设备可稳定运行百万次；自保系统可保证设备在误操作或电源故障条件免于损坏。
氦质谱检漏仪的简析及使用方法
一、氦质谱检漏仪的简析：
1、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散。
2、另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
二、氦质谱检漏仪的使用方法：
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。
4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。
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