现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法
涂层的镀膜机控制方法是直接的石英晶体微天平(QCM)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过PID控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。
此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温
大型磁控溅射镀膜机
现代真空镀膜机膜厚测量及监控方法
涂层的镀膜机控制方法是直接的石英晶体微天平(QCM)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过PID控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。
此外,虽然QCM在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。光学监测是一种涂层优选的监控模式,镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。
精度的提高,由于许多因素,但根本的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单一波长的光学监测系统,是间接控制,镀膜机的光学监测软件结合王博士的发展,有效地改善和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少终的误差的理论方法,提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。特别适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。
维修真空镀膜机一定要按照步骤操作
日常生活中,我们使用真空镀膜设备都会维护,但是很多人维护的方法都很不对,也不按照步骤来拆卸和安装真空镀膜机,今天我们就来介绍下真空镀膜机的维护步骤吧:
首先我们要保证镀膜机与地面充分接触,扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作,维持泵半小时后才能关,1小时后断水,但泵内未冷却至80℃以下时,不得切断冷却水,以防止泵芯烧毁。
扩散泵和增压泵各留有备用水出口,若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵,镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水,以防止电极和基体材料烧毁。扩散泵和油增压泵在加热情况下,切勿与大气接触,以免泵油氧化,定期检查和调整水流继电器,检查断水报警是否正常,保证设备冷却水供水畅通,在拆装镀膜机各机件时,应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤,以保证镀膜设备密封性能可靠。
设备各传动转轴真空密封处均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封内间均充以饱和油蒸汽压很低的真空油脂和扩散泵油。使用一段时间即会损耗,必须以相同的真空油脂和扩散泵油充入,决不能用其他油品代替。
真空镀膜机保养的重要性
大家都知道,真空镀膜机的运行状况会直接影响镀膜成品的质量,为了更好的运行,要对真空镀膜机进行维护和保养,那么,那么知道真空镀膜机维护和保养的意义吗?下面,小编给大家讲解一下它们的意义。
设备的日常维护保养是在生产中发现不正常现象,尽快解决。发现机械泵油减少要添加,不要认为油要定期才更换,否者到了维护时,泵的转子可能会磨损严重。例如,一些轴承工件转架卡,要更换轴承,否者等到它完全破碎,问题可就大了,可能会出现电机烧毁等问题。
定期维护保养,有些人会问一个日常维护和定期维护的区别?实际上,每个设备都有使用寿命,例如,扩散泵用的硅油,使用寿命为两年左右,我们提早更换,这是浪费吗?不是,在生产中不希望出现设备故障,把日常维护保养和定期维护保养都做好了,不仅延长了设备的使用寿命,还减少了运行故障,提高生产效率。
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