氦质谱检漏方法分析
氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；
目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5.0×10-12 Pa·m3
氦检漏系统
氦质谱检漏方法分析
氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；
目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5.0×10-12 Pa·m3/s，如北京中科科仪生产的542检漏仪。国外检漏仪小可检漏率高可达到5.0×10-13Pa·m3/s，如德国Inficon，法国阿尔卡特等。
目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。后续将着重介绍真空箱法检漏在空调两器检测方面的应用。
由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔；由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术（简称氦检技术）日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。
真空应用设备哪些部位容易出现泄漏，应该如何检漏？
检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间发展起来的一种检漏仪，其灵敏度高达10-15Pa·m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9~10-13Pa·m3/。
一、氦质谱检漏仪是如何工作的？
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束
汽机真空系统检漏方法
打压法：充压法原理基本与法一样，往凝汽器系统注入大气正压，用涂抹肥皂水的办法，查遍所有的可以漏点。缺点是，费时费力。主观性强。检漏效果受气候温度适度影响。必须停机。
打压法，可以说也不适用于空冷岛的检漏。检漏时需要停机。采用肥皂气泡的涂抹，用刷子涂抹肥皂液体，仔细查看，如有泄漏点将会产生气泡。空冷岛检漏面积大、死角多。又遇有风大，夜间，寒冷天等环境下，这个办法劳动量太大，不可能普遍查到所有死角。需搭设架，耗费时间人力大，而且死角太多，延长停机时间。
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