真空设备安装调试过程中的检漏步骤
安装调试阶段是真空设备或系统检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，那么在设备安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。大型、复杂真空设备好采用分段检漏，每装上一个部件，便对其连接部位和焊缝进行一次检
氦检漏系统
真空设备安装调试过程中的检漏步骤
安装调试阶段是真空设备或系统检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，那么在设备安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。大型、复杂真空设备好采用分段检漏，每装上一个部件，便对其连接部位和焊缝进行一次检漏，达到要求后再装下一个部件。因为将所有部件全装配完后再检漏，不仅怀疑部位太多，还可能多个漏孔同时漏气，给总体检漏带来极大困难。真空设备安装调试过程中的检漏步骤如下：
1、了解待检设备的结构组成和装配过程。掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点部位。
2、根据所规定的大允许漏率以及是否需要找漏孔的具体位置等要求，并从经济、、可靠等原则出发，正确选择好检漏方法或仪器，准备好检漏时所需的辅助设备后拟定切实可行的检漏程序。
3、应对被检件进行好清洁工作，取出焊渣、油垢后再按真空卫生条件进行清洁处理，并予以烘干。对要求高的小型器件。清洁处理后可通过真空烘干箱进行烘烤，进行清洁处理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有机溶液等堵塞，而且也保护了检漏仪器。
不锈钢焊接中存在的问题
不锈钢材料的耐腐蚀的性能和耐高、低温应用的性能都是很好的，但是经过焊接后的不锈钢焊缝及其热影响区的情况就大为不同了，它存在着裂纹、气孔、脆化、晶粒粗大的现象。因此，在制造超高真空和一般的高真空容器时，必须十分重视这个问题。
奥氏体不锈钢在焊接中及焊接后存在的问题主要有:
(1)焊缝中的热裂缝。奥氏体不锈钢焊接工艺中应该注意的问题是焊缝金属的热裂缝(图3-3)，在焊接热影响区的晶界上析出铬的碳化物以及产生焊接应力。
真空系统设计（不锈钢超高真空容器的焊接）
(a)焊缝中的纵向裂缝; (b)焊缝中的横向裂缝; (c)焊縫中弧坑裂缝;(d)热影响区内的横向裂缝; (e) 热影响区内的纵向裂缝
热裂缝也称为结晶裂缝，是在焊接熔池的一次结晶过程中，当焊缝金属处于固-液体状态时形成的，它们是由于相邻的晶体沿晶间夹层被分开的结果。
真空检漏技术
一、真空系统的漏气
1.漏气的定义
真空系统不可能不漏气，但符合以下条件可视为不漏气：
（1）真空系统的终压力可以达到；
（2）在正常操作时间范围内，真空系统可以达到并维持预期的压力范围。
2.漏气的判定
当真空系统操作时不能达到预期的压力范围，或者操作时间超过正常操作时间才能达到预期的压力范围，此时常被怀疑为漏气。但这有可能是真空室器壁吸附的气体被释放出来造成的，此即为假漏。因此，需要在检漏之前判断真空系统是否为假漏。
常用简单判断假漏与真漏的方法为：将真空系统停止抽气，然后观察真空计的变化。若真空计压力一直上升，则为真漏；若压力上升到一定值后停止不变，则为假漏。
检漏
1.真空计测漏
一般的真空计测漏是用酒精作为检漏液。测漏时在有漏的地方喷洒酒精，若酒精喷洒在漏气处时，真空计会显示压力下降然后再上升的现象。这是因为酒精进入漏气处暂时有堵漏的作用，故真空系统压力下降。当酒精穿过漏气处到达真空系统内部会立即变成蒸气，故真空系统中的压力再上升。
2.检漏仪测漏
将检漏仪接入设备的抽气管路。设备先由泵抽气到检漏仪工作压强，然后切换到检漏仪。然后向怀疑有漏的地方喷吹氦气，若有漏气，则检漏仪的显示会有明显变化。真空检漏技术
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，真空检漏技术
工作原理：
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器，如图3所示。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
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