多弧离子真空镀膜机镀膜技术
很多朋友问我关于多弧离子真空镀膜机真空技术方面的问题，当时给朋友解释了很多，今天至成小编为大家详细介绍一下：
多弧离子镀是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光放电放出的阴极物质的离子，这种装置不需要熔池，被蒸发的靶材接阴极，真空室为阳极，当触发电极与阴极靶突然瞬间接触时，就会引起电弧，
PVD中频离子镀膜机
多弧离子真空镀膜机镀膜技术
很多朋友问我关于多弧离子真空镀膜机真空技术方面的问题，当时给朋友解释了很多，今天至成小编为大家详细介绍一下：
多弧离子镀是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光放电放出的阴极物质的离子，这种装置不需要熔池，被蒸发的靶材接阴极，真空室为阳极，当触发电极与阴极靶突然瞬间接触时，就会引起电弧，在阴极表面产生强烈发光的阴极弧光斑点，斑点直径在100m以下，斑点内的电流密度可达103~107A/cm2于是在这一区域内的材料就瞬时蒸发并电离。阴极弧光斑点在阴极表面上，以每秒几十米的速度做无规则运动，外加磁场用来控制辉点的运动轨迹和速度，为了维持真空电弧，一般要求电压为–20到–40V。多弧离子镀的原理是基于冷阴极真空弧光放电理论，该理论认为，放电过程的电量迁移是借助于场电子发射和正离子电流这两种机制同时存在且相互制约而实现的。
在放电过程中，阴极材料大量蒸发，这些蒸汽分子产生的正离子，在阴极表面附近很短的距离内产生极强的电场，在这样强的电场作用下，电子以产生以场电子发射而溢出到真空中，而正离子可占总的电弧电流的10%左右，被吸到阴极表面的金属离子形成空间电荷层，由此产生强电场，使阴极表面上功函数小的点(晶界或裂痕)开始发射电子。个别发射电子密度高的点，电流密度高。焦耳热使温度上升又产生热电子，进一步增加发射电子。这个正反馈作用使电流局部集中。由于电流局部集中产生的焦耳热使阴极材料表面局部爆发性地等离子化，发射电子和离子，并留下放电痕。同时也放出熔融的阴极材料粒子。发射的离子中的一部分被吸回阴极表面，形成空间电荷层，产生强电场，又使新的功函数小的点开始发射电子。
PACVD硬质涂层真空镀膜机系统的特点：
（1）2个等离子激发源（射频，直/直流脉冲）（2）安装在两边的2闭合场非平衡磁控管溅射（3）带有一个前门的六角形真空室，保证一个洁净的环境（4）干式真空系统设计安装在一个单独的空间，处理高吞吐量的碳氢化合物和其他工艺气体（5）基材和导电与非导电涂层及组合原位清洗的离子激发系统（6）可选择的等离子体激发模式和频率使等离子的密度和能量适应基材增压特性，以小压强进行电离作用（8）单独的PACVD工艺中不强制转动的时候，一种行星式转动也能够使溅射涂层统一沉积（9）特别是在PACVD过程特殊设计的进气系统能够优化涂层的均匀性和清洁度（10）泵的选择编排和上下的蒸汽压力调节，保证了涂层系统的高可靠性（11）iFIX基础的控制系统，易于批次、配方和报警处理（12）所有数据的采集，保证良好的过程控制。工艺过程中定制曲线图做到良好检查方案。在批次运行过程中，操作者也可更改或新建工艺（13）用户可自行设置进入控制系统的权限，以保证系统的质量和安全性
真空PVD镀膜涂层工艺冷却如何进行？
1.高阀关闭，真空计关闭，真空室与泵组隔离；
2.当操作人员按下N2vent按钮，预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室，当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时，N2充气阀关闭。
3.真空室内充入了大量N2，真空度很低，更加有利于热传导，所以降温速度比不充冷却N2时快很多，缩短冷却时间，提高生产效率，实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。
4.由于氦气的热传导率更高，所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快，但是成本也更高。
5.国外设备冷却程序，通过冷却气体的循环冷却，能缩短冷却时间50%。
为什么要进行压升率测试？
真空环境条件是影响终涂层质量重要的因素。镀膜前，必须进行压升率测试，以保证真空环境条件满足镀膜标准。
怎样进行压升率测试？
在我们的自动镀膜工艺中，压升率测试是自动进行。当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后，进入压升率测试步骤。
系统会自动关闭高阀，此时真空室与泵组隔离，真空室内压力会升高。在一定时间内（一般1分钟），如果压力不超过设定的报警值，系统会自动进行下一步程序，进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值，系统会有报警提示，此时，操作人员应按照操作流程，再次进行抽真空和加热烘烤，然后重复进行压升率测试，直至压升率满足镀膜条件。
真空离子镀膜设备的操作步骤是什么
在操作真空离子镀膜设备时，请参阅设备规格、仪表板指针显示和每个旋钮下的标记说明：检查真空离子镀膜设备操作控制开关处于“关闭”位置。打开主电源开关为设备供电。按“复位”和钮复位整台机器的控制电源。
启动水冷却系统，连接真空离子镀膜设备的冷却水。操作台上的控制方式选择开关是以“自动齿轮”保持泵VP1和VP2启动，助推器泵BP和扩压泵DP启动预热，时间约60分钟。将全缠绕铝线送丝盘放入轴销，然后安装在支撑板上。
铝线通过送丝轮和管道通到蒸发船的顶部，调整弹簧的张力，使压轮不打滑地压紧铝丝，使铝线顺利运输。用石墨纸包裹蒸发舟的两端，然后将其压入电极。关闭蒸发罐挡板。基材卷筒安装在卸料轴上，空卷筒安装在收集器轴上，然后放卷座和卷轴座分别固定。调整基材和筒芯的位置，并将筒芯泵紧。
在触摸屏主控制屏上设置真空离子镀膜设备的卷绕参数，包括直径、宽度、张力、停止直径、卷绕速度、卷绕张力等。根据卷绕流程图，从放电轴绘制基片，并将其缠绕到采集轴，并在操作过程中对薄膜进行紧固和对齐。按下操作台上的“收卷”按钮，收卷系统按设定值进入零速张力保持状态，收卷系统将收卷物料。
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