氦检漏法
氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏过程中不受其它气体的干扰，因此，它是一种反应灵敏，能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa.m3.s-1。
运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是：通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同荷质比的离子在场中彼此分开，而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起，如
真空氦质谱检漏仪
氦检漏法
氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏过程中不受其它气体的干扰，因此，它是一种反应灵敏，能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa.m3.s-1。
运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是：通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同荷质比的离子在场中彼此分开，而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子，就会得到按照荷质比大小，依次分开排列的质谱图，这就是质谱。专门设计的把氦示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的原理是，当一个带电质点(正离子)以一定速度V进入均匀磁场的分析器中后，如果速度V的方向和磁场H的方向相垂直，它的运动轨迹为圆，不同质合比(m/e)的粒子在磁场中有相应的运动轨迹，这样，不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开，如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉，而在氦粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成氦离子流。并经过放大器放大而被测量仪指示出来。检漏时，氦气进入检漏仪氦质谱室中，使仪器发生灵敏的反应，产生检漏的作用。
由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检技术)日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。
汽轮机真空系统查漏范围
汽轮机真空系统相关的设备、部位较为繁杂，且现场分布广，部分设备、部位的安装位置差，影响真空泄漏点的查找。应根据机组的自身特点及具体的泄漏程度，从以下各方面或有重点地开展检漏工作。
（1）低压缸部分:低压外缸中分面、人孔门、防爆膜及前、后轴封等。
（2）给水泵汽轮机部分:给水泵汽轮机中分面、人孔门、防爆膜、轴封及排汽管上的排汽蝶阀、法兰面、波纹膨胀节等。
（3）凝汽器及相连的负压系统:凝汽器本体,与凝汽器本体相连的低压旁路、三级碱温器,各疏水扩容器，低加、轴加，低加进汽管及真空破坏门、水位计、联箱等设备及附属管路、阀门等141。
（4）凝结水泵及人口区域:凝结水泵的轴端机械密封损坏或轴端密封水工作异常，或人口区域阀门、滤网、波纹膨胀节等泄漏，造成凝结水溶解氧含量超标。
（5）微正压部位:中低压连通管法兰、膨胀节，部分低压加热器及相应的疏水、排气管道等部位，在低负荷时会呈现负压状态，导致空气被该区域的泄漏点吸人。
真空严密性试验技术指导（汽机定期试验）
1、操作危险点、安全措施和注意事项（按工作顺序填写与执行）：
试验时，如真空下降至85kPa或低压缸排汽温度超过57℃，应停止试验，启动真空泵运行，恢复正常运行方式。
试验时当凝结水温度大于45℃时，应及时通知化学注意精处理运行情况。当凝结水温度大于50℃时，应及时通知化学退出精处理运行。
2、试验方法及步骤
得值长令，##号机组真空严密性试验。
确定 ##号机组负荷大于80%，运行正常。
确定 ##号机组凝汽器真空应大于90kPa以上。
确定真空泵良好，维持二台运行，一台作备用。
确定有关真空数值（就地、LCD及DEH）显示均正常。
解除机组协调控制，且锅炉燃烧稳定。
记录机组负荷、凝汽器排汽温度、凝结水温度、真空等有关数据。
解除备用真空泵的联锁。
关闭两台运行真空泵入口碟阀，并停止两台运行真空泵，30秒后开始记录，每30秒记录一次真空值。
8分钟后试验结束，立即启动两台真空泵运行，检查入口碟阀联开正常。
取其中后5分钟内的平均值算出真空平均下降速度。真空严密性试验结果（ ）kPa/min，试验结果（ ）。
试验结束，汇报值长并做好凝汽器真空严密性试验结果的分析和记录。
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