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Edwards nEXT240D涡轮分子泵










入口法兰DN100ISO-K，DN100CF

出口法兰KF25

抽速N2240l/sHe230l/sH2165l/s

压缩比N2>1×1011He3×105H21×104

极限真空（ISO/CF，RV前级泵）<6×10-8/<5×10-10 mbar

推荐前级泵*RV12/nXDS10i

放气口1/8英寸BSP母螺纹

吹扫口1/8英寸BSP母螺纹
















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爱德华Edwards复合涡轮分子泵Ext75dx24VDCEdwards EXT75DX涡轮分子泵

上轴承为性磁悬浮轴承：无需清洁、振动小、磨损低 配有手动放气阀（可选配电磁阀，用于全自动放气）Holweck拖曳分级技术，实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口，提供制程气体稀释，以保护电机和下轴承










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