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什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

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流量控制器的特点

地定量控制流量

质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。

适用范围宽

有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。质量流量计，即MassFlowMeter（缩写为MFM）,是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～ 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。

流量控制器的性能参数

流量控制器的特点是：当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时，通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。

流量控制器的性能参数有：流量控制精度、工作压差范围、启动压差

工作压差范围指的是当流量控制器进口、出口压差变化在多大范围时，能保持通过流量控制器的流量恒定不变。一、压力状况在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不20MPa，压力远远大于大气压。行业标准中规定工作压差范围0.03－0.3MPa，A类产品工作压差范围达到0.03－0.4MPa。工作压差范围的大小取决于自力式流量控制阀的设计。

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