真空气氛管式炉使用氢气作为工作气体时
1、接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。
2、确认各阀门处于关闭状态。
3、逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.1MPa。
4、 接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。
5、关闭机械泵气路上的两
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真空气氛管式炉使用氢气作为工作气体时
1、接通氢气气路，对各接头处用肥皂水检漏，确认不漏气。
2、确认各阀门处于关闭状态。
3、逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀，顺时针旋动旋钮，缓慢打开出口减压阀，使出口气压在0.1MPa。
4、 接通机械泵电源，打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门，抽5分钟。
5、关闭机械泵气路上的两个阀门，关闭管式炉出口阀门，关机械泵。
6、逆顺时针打开上气路控制阀，使箭头指向“开”位置。
7、逆顺时针调节流量计旋钮，使示数在20ml/min。
8、逆时针旋动旋钮，打开管式炉进气阀，直至气压表读数为零。
9、打开管式炉进气阀，打开氢气气路上的红色出口阀门。
10、在通氢气满十分钟后，才能开始加热管式炉。加热前，逆时针调节流量计旋钮，使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。
如何选择管式炉？
1、了解您的应用程序
单区与多区：多区炉具有多个独立控制的恒温区，允许受控的温度梯度或较长的加热区。
水平（标准）与垂直：垂直管炉提供较小的占地面积，可用于加热/淬火过程
RTP（热处理）：可滑动的样品保持器或加热炉
高压/真空炉：特殊设计的高温高压真空处理用不锈钢或高温合金管
旋转管式炉：加热过程中旋转管以提高粉末加工/涂层均匀性
气体处理能力：可用于氢气处理和高温腐蚀研究的特殊模型
多功能：基于管式炉的完整系统，如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生长系统等
当真空管式气氛炉出现紧急情况时如何应对？
一、当加热室加热突然停电：
1、立即关闭设备总电源；
2、关闭各管路的真空阀，防止空气进入真空炉内；
3、加热室通入高纯氮气到6.6*10-4使炉膛尽快冷却下来。注意提前同时向冷却室通气以便压住热闸阀；
4、如果用循环水冷却而停水，应启用备用水(自来水或高位水箱)。
二、当加热室加热时突然停水：
1、立即切断加热电源；
2、启用备用水；
3、将工件从加热室转移到冷却室，充氮气使工件冷却；
4、加热室充入高纯氮气，使其冷却到150℃以下。
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