电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择
工艺冷却水管道主要有不锈钢管道及塑料管道两种。
（1）不锈钢管道
根据工艺冷却水的水质要求，SS304不锈钢管即可满足要求，但是半导体、TFT行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透（RO）出水作为工艺冷却水的补充水源，而RO出水根据纯水制备工艺流程的不同其酸碱度也有所不同。当水的pH值呈中性或
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电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择
工艺冷却水管道主要有不锈钢管道及塑料管道两种。
（1）不锈钢管道
根据工艺冷却水的水质要求，SS304不锈钢管即可满足要求，但是半导体、TFT行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透（RO）出水作为工艺冷却水的补充水源，而RO出水根据纯水制备工艺流程的不同其酸碱度也有所不同。当水的pH值呈中性或弱碱性时，可采用SS304不锈钢，当水的pH值呈酸时（RO出水在不加碱的情况下通常呈酸性），需采用抗酸性好的SS304L不锈钢。2、进入洁净室员工，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持至好状态的观念。
即：
Sch.＝P/〔ó〕t ×1000
式中：P为设计压力（MPa）；〔ó〕
t为设计温度下材料的许用应力（Mpa）。
管道表号（Sch）并不是壁厚，是一壁厚系列。
同一管径，不同的管道表号，其壁厚不同。Sch愈大者管壁愈厚。
PVC管道存在大口径管道难以采购，且施工困难的缺点，故而PVC管道通常可应用于小于DN100的支管，干管仍采用不锈钢管，两种管道采用法兰连接。由于小管径的Sch80-PVC管的价格较不锈钢管低，故而可节省投资。
洁净车间要达到良好的洁净效果，不仅要着重采取合理的空调净化措施，而且也要求工艺、建筑及其他采取相应的措施：不但要有合理的设计，而且还要符合行业规范的施工安装，以及正确的使用洁净车间和科学的维护管理，才能使洁净车间获得良好的效果。洁净车间空气净化系统中，高效空气过滤器是常见的构成部件之一，同时也是必备设备。本文简要论述以下几点：
1、送风洁净度
要保证送风洁净度，安装的气密性要好，液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上，负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态。
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及，ULSI制程大都采用此种型式。
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