质量流量控制器简介
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使用范围： 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。
特点：流量精度高、线性好、零漂小、气流响
AB-11MFC Mass Flow Controller
质量流量控制器简介
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使用范围： 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。
特点：流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小。
质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC)，它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
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质量流量计故障处理方法
硬件故障若出现误差偏大，积算器显示不亮或不增值，显示器空白位等现象，其原因：
a.安装不规范，可直接导致流量计零漂，如质量流量计安装在泵出口处较近，传感器支撑强度不够，连接法兰焊接不当产生应力信号，电缆受电磁干扰。
b.接线问题若出现显示器不亮现象，应检查积算器电源连线，若出现保险丝被烧，应确认输入电压与标准电压标称值，交直流形式是否一致。又若出现积算器不随流量增加时，应检查积算器接线，若积算器装有正/反向程序，应检查流量计接线，因流量计接线不正确，会使积算器在反向流时不递增。
c.工艺介质变化若测量介质出现夹气，气化或两相流等现象，变送器会出现报警显示，严重时，传感器停止工作。
d.变送器失效。
e.传感器失效。
f.管道吹扫问题。
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