国内真空镀膜机械的发展
我国镀膜市场一直在扩大需求,行业的高速发展同时也带动真空设备行业的发展速度。每年我国都需要进口大量的镀膜真空设备,这些设备工艺技术比较高,可靠性强,价钱也非常之高,不可否认的是这些设备大大提高了我国部分的镀膜企业的生产水平,使之达到发达水平;
国内的真空设备也相对引进技术取得了巨大进步,真空镀膜设备已经达到较高水准
磁控多弧复合镀膜设备
国内真空镀膜机械的发展
我国镀膜市场一直在扩大需求,行业的高速发展同时也带动真空设备行业的发展速度。每年我国都需要进口大量的镀膜真空设备,这些设备工艺技术比较高,可靠性强,价钱也非常之高,不可否认的是这些设备大大提高了我国部分的镀膜企业的生产水平,使之达到发达水平;
国内的真空设备也相对引进技术取得了巨大进步,真空镀膜设备已经达到较高水准,完全能够满足一般企业的需求,部分实力厂家产品更是销往,譬如汇成真空。
整个镀膜行业被物理和化学镀膜占据,他们的发展左右着我国整个镀膜行业的发展,而随着环保的提倡,化学镀膜渐渐减少,环保物理镀膜占据更多江山,镀膜真空设备成为了这个行业发展的指标,政策对环保设备的大力支持未来真空设备的发展将更加广阔。
什么是真空镀膜设备的虚漏及漏孔?
一、虚漏:
虚漏是由于设计或制造加工工艺不当,在真空镀膜设备内形成贮存气源的洞穴,这些气体在真空环境下慢慢释放出来,形同漏气,简称虚漏。
例如,真空镀膜设备内的紧固螺钉没有出气孔,焊缝交叉设计,焊接不完善留有孔穴等都会造成虚漏现象。
二、漏孔:
漏孔是真空镀膜设备内的电真空器件中直径微米数量级的小漏孔,空气中的尘埃或液体都很容易造成漏孔的堵塞,这些就算你当时修理好了也是暂时性的,检漏时好像不漏,但经过抽气之后,又会出现漏气。
所以为了检查,一定要仔细处理好检漏部位,尽量不用手去摸被检测区域,避免尘埃或油脂堵塞漏孔。
真空镀膜设备选购要点分析
真空镀膜设备选购要点分析如下:
1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
4、真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
5、根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。
6、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计+针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。
7、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。
8、根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
9、完善的报警系统,对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。
(作者: 来源:)