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半导体真空腔体加工厂家点击了解更多「多图」

企业视频展播,请点击播放视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司 真空腔体常用的清洗方法 1、超声波清洗 超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的. 2、电解侵蚀清洗 电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空腔体常用的清洗方法

1、超声波清洗

超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.

2、电解侵蚀清洗

电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等.

3、蒸汽脱脂清洗

蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的,适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗,操作方法简单,可以实现大批量清洗.一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后,用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果.







真空腔体加工的注意事项

焊接是真空腔体制作中的环节之一。通常采用弧焊来完成焊接,可避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应而影响焊接质量,弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体气,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。

超高真空腔体的弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。真空腔体不允许内外双重焊接和双重密封

个大气压在1cm2的面积上产生约1kgf的压力,对直径20cm的法兰来讲,就是1t的压力。圆筒或球形的腔体,由于构造的特殊性使得压力分散,腔体的壁厚2~4mm就不会变形。

但是,对于方形腔体,侧面的平板上要承受上吨的压力,必须通过增加壁厚或设置加强筋,才能防止变形。







真空腔体除尘过滤方式及过滤装置大家了解多少呢?

有些真空工艺会产生大量的尘土,如果尘土随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中,会像研磨剂一样加速泵腔内零件的磨损,对泵转子和泵腔造成磨损和损坏,堵塞油路或使泵无法运转,如果尘土进入真空阀门则会使密封失效而泄漏,因此尘土的规避和过滤己成为增加真空腔体的使用寿命,增加生产率的关键问题,在有尘土的真空系统中,要采用尘土过滤器。复杂的真空腔体通常需要定制,即针对应用终端进行专门的设计和制作。

在尘土量较少时,可以由泵油过滤系统滤除,但尘土量较大时,为不让真空泵损坏,让真空泵的正常运转要使用除尘器。真空腔体加工厂家解释说常用尘土过滤方法有以下几种:

(1)旋风离心式。进气口与筒体成偏疼放置,尘土随气流旋转,因离心力效果而沉降在过滤器的底部。

(2)油淋式。在油泵的效果下,使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下,油雾与上升的气流相互效果吸附,混在气流中的尘土与油一同沉降至油池。

(3)油湿介质粘附式。尘土在气流效果下磕碰用真空泵油浸湿的介质外表而被粘附,常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等。

(4)介质阻挠式。使用介质的机械阻挠效果过滤尘土,常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。

(5)静电吸附式。使用真空中气辉光放电构成等离子体,尘土在等离子体中附着电荷,在电场力效果下被驱向电极外表而集。

(6)混合式。将以上几种过滤形式进行组合构成混合的过滤形式。







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