气瓶放置应整齐,应保持直立放置,妥善固定,且应有防止倾倒的措施。ENPAC的新全塑型气瓶固定板和气瓶固定架非常地解决气瓶存放和气瓶固定问题,提高安全性和避免气瓶摆放的杂乱无章,符合美国职业健康管理局标准OSHA 29 CFR.1910的规定,气瓶安全大大提高。ENPAC的气瓶固定板和气瓶固定架的全塑结构,不会像钢制产品那样笨重、发生生锈和掉屑,特别适合无尘室、洁净室
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气瓶放置应整齐,应保持直立放置,妥善固定,且应有防止倾倒的措施。ENPAC的新全塑型气瓶固定板和气瓶固定架非常地解决气瓶存放和气瓶固定问题,提高安全性和避免气瓶摆放的杂乱无章,符合美国职业健康管理局标准OSHA 29 CFR.1910的规定,气瓶安全大大提高。ENPAC的气瓶固定板和气瓶固定架的全塑结构,不会像钢制产品那样笨重、发生生锈和掉屑,特别适合无尘室、洁净室、手术室、电子室等对洁净要求高的场合。
随着微电子工业的不断发展,特别是超大规模集成电路制造的晶圆尺寸不断增大,线宽尺寸从微米级进人到亚微米(小于1um)级以及深亚微米(小于0.18um)级,这样,对半导体制造工艺中的超净气体的要求越来越高,对这些气体中微粒、杂质及控制要求极为严格,已达到ppb、ppt级,尘埃粒径要求控制小于0.1um的微粒,因此对超净气体的输送管路系统的洁净度提出了非常高的要求。
特种气体指出,工艺气体中的杂质对半导体制造的整个过程都有影响。如高温处理中,重金属微粒向硅的内部侵人扩散,诱发结晶缺陷,是导致半导体器件特性裂化的原因。腐蚀工序中,由于微粒附着在硅片处,将导致接触部分和周围的腐蚀加工精度降低。
热处理工序中,碱金属微粒使氧化膜与硅的界面特性产生异常,引起耐压性差或电气特性劣化。特种气体指出,由于一旦该气体输送管道发生污染,将很难通过吹扫清除污染物,往往是更换掉被污染的管路,由于该系统造价昂贵,这样造成的损失将很大,因此,超净气体管道系统洁净度的要求甚至比对其纯度的要求在某种程度上显得更为重要。
环保产业投资力度加大
为特种气体行业发展提供巨大动力
近年来,随着经济的增长、人们环保意识的增强和环境保护工作力度的加大,环保产业取得了较大的发展。2017年,我国财政环境保护支出为4506亿元,同比增长16.75%。在和各级不断加大重视并持续增加支出,以及伴随着工业发展产生的大量市场需求等方面因素的作用下,城市环保行业始终保持较快增长。
其中,作为环保产业的重要一环,与污水处理和大气处理相比,目前固废处理行业仍处于初始阶段,产业化程度和市场集中度均非常低,投资规模的加大将为特种气体行业的发展提供巨大的动力。
工业气体技术特性
工业气体技术特性:
◆采用动态气体混合法,具有即混即用的特点,使混合更均匀;
◆在额定范围内输入压力的波动,以及输出流量变化,配比精度保持不变;
◆配气过程直观,调整便捷;
◆为纯机器结构,使用寿命长,;
◆体积小巧、重量轻,携带和使用方便;
◆气体混合精度高,高可达±0.05%;
◆可实现双元或多元同步混合;
◆混气过程复现性优良,比例稳定。
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