脉冲激光沉积系统特点及优势
可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,;
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脉冲激光沉积原理
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激光脉冲沉积设备报价
脉冲激光沉积系统特点及优势
可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,;
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脉冲激光沉积原理
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享脉冲激光沉积的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助。想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话或关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站!
脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,从而形成薄膜。
脉冲激光沉积系统的特点有哪些?
超高真空不锈钢腔体
可集成热蒸发源或溅射源
可旋转的耐氧化基片加热台
流量计或针阀准确控制气体流量
标准真空计 干泵与分子泵
可选配不锈钢进样室
可选配基片-靶材距离自动控制系统
是金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格的较佳设备
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