工艺气体输入系统
工艺气体，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。厚度均匀性主要取决于:基片材料与靶材的晶格匹配
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工艺气体输入系统
工艺气体，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。厚度均匀性主要取决于:基片材料与靶材的晶格匹配程度，基片表面温度，蒸发功率，速率，真空度，镀膜时间，厚度大小。缺点是，由于接头增多，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产量。此外，更换气瓶时，必须保证所有机台都处于非用气状态。
PVD真空镀膜设备蒸发系统主要指成膜装置部分，PVD镀膜机的很多成膜装置，PVD镀膜有电阻加热、射频溅射、离子镀等多种方式。下面介绍PVD镀膜电阻加热和电子枪蒸发的方式：PVD镀膜电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应较多，镀膜广泛的蒸发方式，PVD镀膜也是应用时间长的蒸发方式。镀膜设备在太阳能利用方面的应用：当需要有效地利用太阳热能时，就要考虑采用对太阳光线吸收较多、而对热辐射等所引起的损耗较小的吸收面。 PVD镀膜的工作方式是：PVD镀膜将钨片做成船状，然后安装在两个电极中间，再热传导给PVD镀膜材料，当钨舟的热量高于PVD镀膜材料熔点的时候，材料就升华或者蒸发了。
真空镀膜设备的金属罩体通过安装孔，然后以焊接的方式固定在真空镀膜机的外壁上，待冷却的外壁通过加强圆槽形成渠道，这样确保了冷却的流通，也避免的死角现象的产生，有效的对镀膜机进行了的降温，降低了油泵的温度，加强了冷却的强度，结构简单，安全可靠等有点，在真空镀膜机冷却外壳上包括金属罩体的原因是数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。
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