电子特气系统的维护
由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且安全可靠。④为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器,在排入大气的排气管道上,为防止排
高纯供气系统公司

电子特气系统的维护
由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且安全可靠。④为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器,在排入大气的排气管道上,为防止排气时突遇雷电袭1击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆1炸事故,必须在排气管道上设置阻火器。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,确保气柜各管路与阀门吹扫干净。
(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(N2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12PSI,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(PT)受温度的影响,一般有2PSI的正负波动。
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特气系统知识分享:一般混合气体
由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。
对气体分析仪用气体,如含氢10%,其余是氦的混合气以及含甲1烷5%或10%;含氢40%,其余是氮或氦的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。
在测定放1射性物质时,使用的混合气有下列几种组成:含异丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以氦为底气。
深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合气。激光用气含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。
光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氢等都要保持低浓度。
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小流量气体净化系统
高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气,应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气,也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体,更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。它们的投资规模巨大,采用1的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂,电化学抛光316L不锈钢管件,出气口配置微米过滤器,其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的世界水平。
气体配比仪采用质量流量计,电化学抛光316L不锈钢管件,双卡套或者VCR气体接头。
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