影响减薄机减薄硅片平整度的因素有哪些
减薄前将硅片粒结合在行星齿轮片上的沾片方法是十分重要的。因为当沾片的方法不合理时,减薄后的硅片厚度公差将会随之增大,所以在沾片前我们要故的首步是将硅片按厚度分好档,然后把硅片用蜡均匀地沾在行星齿轮片正、反两面上,需要注意的是同一轮研磨的四块或五块行星齿轮片上的硅片厚度-定要均匀,如果硅片不按照厚度去分档,而任意沾片,想要提高减薄后的
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影响减薄机减薄硅片平整度的因素有哪些
减薄前将硅片粒结合在行星齿轮片上的沾片方法是十分重要的。因为当沾片的方法不合理时,减薄后的硅片厚度公差将会随之增大,所以在沾片前我们要故的首步是将硅片按厚度分好档,然后把硅片用蜡均匀地沾在行星齿轮片正、反两面上,需要注意的是同一轮研磨的四块或五块行星齿轮片上的硅片厚度-定要均匀,如果硅片不按照厚度去分档,而任意沾片,想要提高减薄后的硅片厚度公差是相对比较困难的。
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减薄机设备原理
1.本系列横向减薄研磨机为全自动精密磨削设备,由真空吸盘或者电磁吸盘吸附工件与磨轮作相反方向旋转运动,磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损,而且磨削均匀生产;
2.设备可自动对刀、实际检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸。
高精密横向减薄设备特点:
1.可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内;
2.减薄,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度较高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度较高可减薄250微米;
3.系列研磨机采用CNC程控系统,触摸屏操作面板。
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