光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案
光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室，已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食
万级洁净室
光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案
光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室，已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时尽量不采用。近几年来，由于技术之发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为在科技发展上极为重视的项目，而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领1先地位。
光学微电子净化工程解决方案:
1、组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
缺点：
A.需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。实际上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1、确的尺寸控制都是很关键的。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房，如25000m3/h的组合式空气处理机组，常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30┫的机房的;B.造价高。特点：A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担;
B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
无尘室标准温湿度是多少
这个标准要根据你的无尘室用途和生产的产品来决定，比如电子类产品有些胶到24摄氏度就会明显地液化，没法用了，那使用这种胶的无尘室温度范围肯定要低，湿度也是类似的。
也就是说，决定温湿度标准的是你的产品、工艺要求，而不是无尘室本身。无尘室要根据你的用途需求来进行设计，满足你的温湿度要求。没有完全统一的无尘室温湿度标准。
（作者： 来源：）
