真空镀膜机溅射镀膜与蒸发镀膜的区别：蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。溅射镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以
电子束蒸发型号
真空镀膜机溅射镀膜与蒸发镀膜的区别：蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。溅射镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。空心阴极电子枪用空心的钽管作为阴极，坩锅作为阳极，钽管附近装有辅助阳极。真空镀膜机设备溅射镀膜又分为很多种，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
过去的镀膜多采用电镀法和化学镀法，存在着厚度难以控制、膜层均匀性差、附着力差等问题，三废污染特别严重，在人们环保意识逐步加强的今天，其发展已受到了多方面的制约。 绿色镀膜技术工艺过程简单，对环境友好，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。与传统的电镀法相比，真空镀膜技术具有很多的优点，如装饰效果好，金属质感强，易于操作等。真空镀膜设备对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，起码泵的极限抽真空度要高于真空设备工作真空度的半个数量级以上。特别在非金属物件的应用上，有着传统电镀无法比拟的优势。
扩散泵和增压泵各留有备用水出口，若镀膜机故障或停电必须开备用出口让其冷却扩散泵和增压泵，镀膜工作前必须接通全部设备冷却进水，以防止电极和基体材料烧毁。扩散泵和油增压泵在加热情况下，切勿与大气接触，以免泵油氧化，定期检查和调整水流继电器，检查断水报警是否正常，保证设备冷却水供水畅通，在拆装镀膜机各机件时，应注意保护各密封工作面不受机械划伤或损伤，以保证镀膜密封性能可靠。在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。
（作者： 来源：）
