广州帕纳光电科技有限公司----EDWARDS STP-301CB1联系方式；
在产品服务上，主要集中在以下几点：
1.使用Edwards原厂零件进行维修；
2. 即时发送原厂备件和成套件；
3.原厂翻新产品可作为高性价比的设备扩展和备用设备；
4.付费购买延长保修期确保控制预期外费用；
5.现场维修维修工程师网络。
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在真空系统中，需要经常检查机械旋转泵和油扩散泵的油面，一旦发现油面下降应及时加油。旋转泵若缺油不仅会磨坏轴套上的油封圈，而且对旋片端头和内腔壁也可能会造成性的损伤，使极限真空度下降。
若电子枪、衬管、光栏和样品仓等部位的污染加快、加重，则意味着冷却循环水的冷却效果变差，有可能是冷却水的压力下降、水温上升或管道内水垢增厚，这些都会导致制冷效果不良。此时要采取相应的解决办法，如调高循环水的压力或调低水温、排除循环水通道中的堵塞滅清断却管道中的水鮮相应措施。
真空泵启动失败的原因如下。
（1）驱动电机电压不正确或过载。
（2）电动机启动器的过载保护太小或设定值太低
（3）保险丝烧断。
（4）如果真空泵装有交流电动机：电动机的电容器损坏。
对于用水冷却的涡轮分子泵配套的抽气系统，当关闭电镜的主机或分子泵的电源后，还应让循环水机继续运行l5min以上，才能关闭循环水机的电源。若冷 却循环水机没有自动装置，则应釆用人工，这样才可让泵体中的转子和轴承、电镜中的物镜和高压电源等受冷却的部位都能得到充分降温。
循环冷却水的温度控制从以上分析可以看出，爱德华真空泵中的水环温度与软化池中的水温之间的差异是导致结垢的重要因素。 因此，增加循环水供应以提高冷却效果是大大降低结垢速度的重要保证。 因此，在循环冷却水运行过程中，有必要监测每个泵的回水温度和回水量，以确保每个泵的正常供水量和回水温度不超过40°C。 供水量可以通过阀门控制。 如果回水温度超过规定，应通过补充低温冷水或使用其他冷却和降温方法来降低软化池中软化水的温度。
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