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珠三角VARIAN分子泵维修给您好的建议「多图」

广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修; 分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。  分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。 分子泵是一种真空泵,它使用高速旋转的转子将动量传递到气体分子以获得方向速度,从而将其压
VARIAN分子泵维修









广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修;


分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。  分子泵在电机的带动下高速旋转,采用变频电源驱动电机,目的是得到较高的转速。



分子泵是一种真空泵,它使用高速旋转的转子将动量传递到气体分子以获得方向速度,从而将其压缩并驱动到上一级的排气口。
维护分子泵的操作要求:

1.分子泵的气体回路接口的连接法兰的螺钉应朝上,以防止松弛引起的空气泄漏;

2.分子泵不能在大气中打开,必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵;





开发过程中,其验证流程的严格程度远远超出了行业标准。执行的每一个步骤均经过仔细测试,包括寿命测试,冲击测试,抗振动测试,包装测试,温度测试,傅立叶振动分析,噪音测试等。我们对多种不同设计生产了样泵并进行了测试,这并不局限于几个样品。我们为此专门制造的样泵多达1000 余台,对各项结构和功能参数进行了广泛测试和分析。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体,需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。在终产品定型时,仅选用了结果的结构和方案;





抽速是分子泵的核心参数,提高转速是加大抽速为直接的方法之一,随着动平衡技术的发展,分子泵转子可顺利地在超高转速下稳定运转。随着材料科学的发展,分子泵转子材料也发生了变化,可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成,这使转子的转速得到进一步提高。除此之外,近些年还出现了多种新型分子泵,如可有效抽取水分子的低温型分子泵,可在强磁场、强腐蚀条件下工作的陶瓷分子泵,以及可实现无接触支撑、、高寿命的磁悬浮分子泵等。因为静环在静环座中长时间处于静止状态,使聚合物和杂质沉积为一体,起到了较好的密封作用。










机械密封检修中的几个误区

弹簧压缩量越大密封效果越好。其实不然,弹簧压缩量过大,可导致摩擦副急剧磨损,瞬间烧损;过度的压缩使弹簧失去调节动环端面的能力,导致密封失效。

动环密封圈越紧越好。其实动环密封圈过紧有害无益。一是加剧密封圈与轴套间的磨损,过漏;二是增大了动环轴向调整、移动的阻力,在工况变化频繁时无法适时进行调整;三是弹簧过度疲劳易损坏;四是使动环密封圈变形,影响密封效果。








分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?

  答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是方式?

  答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。










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