爱德华进口分子泵维修店信赖推荐,潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司主要从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，太阳能电池板等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，承接等，是leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等分子泵维修厂商。EXT使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至**。
爱德华进口分子泵维修店


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Edwards EXT406PX 复合涡轮分子泵

性能特点

真空系统简单

* 可以选用较小的前级泵。

* 降低真空系统体积与功耗。

* 前级压力在8mbar就可启动，入口负载可达2E-3 。

* 前级压力为17mbar时，还可维持正常转速。

* 也可使用用户自己的24V DC电源。












技术数据

入口法兰 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

压缩比

N2 >1 x 10E11

He 1 x 10E6

H2 5 x 10E4

出口法兰（前级泵口） DN25NW

前级泵（推荐） XDS10或RV12（或其它更小的，依应用而定）

放气口 1/8 inch BSP

吹扫净化口 1/8 inch BSP








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