洁净室无尘车间空气净化（Whole room air cleaning）
通过空气净化等技术措施，使无尘车间工作区的空气含尘浓度达到规定的洁净度等级的方式。
局部空气净化（Local air cleaning）
仅在无尘车间内工作区特定的局部空间内空气含尘浓度达到规定的洁净度等级的方式。
2.11洁净工作区（Clean working area）
无菌室净化工程
洁净室无尘车间空气净化（Whole room air cleaning）
通过空气净化等技术措施，使无尘车间工作区的空气含尘浓度达到规定的洁净度等级的方式。
局部空气净化（Local air cleaning）
仅在无尘车间内工作区特定的局部空间内空气含尘浓度达到规定的洁净度等级的方式。
2.11洁净工作区（Clean working area）
洁净室无尘车间内离地面高度0.8～1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。 局部洁净室（Local clean zone）
空气含尘浓度达到规定的洁净度级别的无尘车间内局部地区。
【参考】 洁净区域根据工艺需要，可以在全室实现，也可以在局部实现。对于工艺的关键区域要求无尘车间洁净度级别1高，控制严，但控制的区域往往不大，如为此而实现无尘车间高洁净度，无论其造价还是运行费用都是相当不合理的。 【参考】 洁净区是指空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，可以是开放式的或
封闭式的。
【参考】 局部洁净区100级是在局部实现高洁净度（100级）的一种合适的方式，即以局部单向流方式，在室内局部地区建立的洁净度级别为100级的区域，以保护关键无尘车间区域。
9.7洁净度级别要求≥0.5μm微粒数和≥5μm微粒数的以下两项均达标：
测量中含尘浓度. 一点达标； 含尘浓度的室平均统计值达标。 达标的级数可计算到小数点后1位。
静态检测达标的即为静态达标，动态检测达标的即为动态达标。 【检查方法】查看报告。
【结果处理】如果≥5μm微粒有些超标，应作为缺陷，在重新严格清洁后抽检。微粒数宜不大于级别浓度的中间，如超过一半并接近上限，应对送风过滤器检漏，并加强动态检测。
【参考】粒子计数器少采样点数的确定应符合以下两方法中的一种，每点至少取数据相近的连续3次读数的平均值。
a. 少采样点数洁净室迎风截面积或单向流区的通风截面积
9.8
洁净室（区）的温湿度应符合生产工艺要求。无特殊要求时，冬季温度不低
于
18
0
C
，相对湿度不
45
％；夏季温度不高于
26
0
C
，相对湿度不高于
65
％。
恒温恒湿精度的评价应遵循
《洁净室施工及验收规范》
（
JGJ71-90
）
的规定。
【检查方法】查看报告。
【结果处理】如果检验报告不是冬、夏季不利条件下的检测数据，应查阅企
业自检记录，尚无自检记录，在夏季应由检验机构重新测定。
9.9
单向流洁净室平均噪声应不高于
65dB
（
A
）
，
非单向流洁净室平均噪声应不高
于
60dB
（
A
）
。又有单向流又有非单向流的混合流洁净室，局部单向流区平均噪
声应不高于
65dB
（
A
）
，非单向流区平均噪声应不高于
63dB
（
A
）
。
【检查方法】查看报告。
【结果处理】各测点数值应接近，如平均值达标而某点超标较明显，则应检查
噪声源。
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