流量控制器的主要优点是什么?
(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2) 测量控制的自动化
质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样
气体质量流量控制器公司
流量控制器的主要优点是什么?
(1) 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计 / 质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2) 测量控制的自动化
质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作,有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。
(3) 地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4) 适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);质量流量计是不能控制流量的,它只能检测液体或者气体的质量流量,通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~ (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。
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流量控制器
热式质量流量器的基本原理是利用外部热源对管道内的被测流体加热,热能随流体一起流动,通过测量因流体流动而造成的热量(温度)变化来反映出流体的质量流量。
当流体成分确定时,流体的定压比热为已知常数。因此由上式可知,若保持加热功率恒定,则测出温差便可求出质量流量;流量控制器容易受这几个方面的影响质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿,可根据需要进行流量设定,自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。若采用恒定温差法,即保持两点温差不变,则通过测量加热的功率也可以求出质量流量。由于恒定温差法较为简单、易实现,所以实际应用较多。这种流量计多用于较大气体流量的测量。
为避免测温和加热元件因与被测流体直接接触而被流体玷污和腐蚀,可采用非接触式测量方法,即将加热器和测温元件安装在薄壁管外部,而流体由薄壁管内部通过。非接触式测量方法,适用于小口径管道的微小流量测量。当用于大流量测量时,可采用分流的方法,即仅测量分流部分流量,再求得总流量,以扩大量程范围。一、压力状况在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不20MPa,压力远远大于大气压。
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质量流量计工作原理
质量流量计是采用感热式测量,通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量,因为是用感热式测量,所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。质量流量计是一个较为准确、、可靠、稳定、灵活的流量测量仪表,在石油加工、化工等领域将得到更加广泛的应用,相信将在推动流量测量上显示出巨大的潜力。质量流量计是不能控制流量的,它只能检测液体或者气体的质量流量,通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。但是,质量流量控制器,是可以检测同时又可以进行控制的仪表。质量流量控制器本身除了测量部分,还带有-个电磁调节阀或者压电阀,这样质量流量控制本身构成-个闭环系统,用于控制流体的质量流量。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流,或者计算机、PLC 提供。对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
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