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高纯供气系统公司来电咨询“本信息长期有效”

特气系统知识分享:一般混合气体 由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。 对气体分析仪用气体,如含氢10%,其余是氦的混合气以及含甲1烷5%或10%;含氢40%,其余是氮或氦的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。 在测定放1射性物质时,使用的混合气有下列几种组成:含异丁烷0.95%,或含丁烷1.3%
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特气系统知识分享:一般混合气体

由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。

对气体分析仪用气体,如含氢10%,其余是氦的混合气以及含甲1烷5%或10%;含氢40%,其余是氮或氦的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。

在测定放1射性物质时,使用的混合气有下列几种组成:含异丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以氦为底气。

深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合气。激光用气含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。

光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氢等都要保持低浓度。

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氦质谱检漏仪

真空检漏的方法很多,氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中;

漏率(漏气速率):是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量;

1小可检漏率:是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率;

检漏灵敏度:也叫有效灵敏度,指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率;

反应时间:也称响应时间,是指从检漏方法开始实施(如喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间;

消除时间:是指从检漏方法停止(如停止喷吹示漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间;

漏孔堵塞现象:指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔,检漏时似乎不漏气,但一经排气就会出现漏气的一种现象。










高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1。








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