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中山普旭真空泵油VE101厂欢迎咨询 东莞东欧真空设备

真空泵油的真空度参数受何影响:真空泵油是真空泵的关键所在,好的真空泵油往往能获得更高的真空度和使用时长。对于真空泵油的真空度要看在不同温度情况下的数值的,温度越高,真空度的表现越稳定的就是好的油品。 1.油位过低,应加足油量到油标中间线; 2.油被沾污,油质变坏。应更换新油; 3.油的牌号不符,应换规定牌号的真空泵油; 4.油路不通,真空泵腔内没有保持适
普旭真空泵油VE101厂







真空泵油的真空度参数受何影响:真空泵油是真空泵的关键所在,好的真空泵油往往能获得更高的真空度和使用时长。对于真空泵油的真空度要看在不同温度情况下的数值的,温度越高,真空度的表现越稳定的就是好的油品。

1.油位过低,应加足油量到油标中间线;

2.油被沾污,油质变坏。应更换新油;

3.油的牌号不符,应换规定牌号的真空泵油;

4.油路不通,真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量,保持油路畅通;

5.进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净,再装上去;


光照法。在天气晴朗的日子,用工具将润滑油撩起,与水平面成45°角。对照阳光,观察油滴情况,在光照下,可清晰地看到真空泵油润滑油中无磨削为良好,可继续作用,若磨削过多,应更换润滑油。油滴痕迹法。取一张干净的白色虑试纸,滴油数滴在滤试纸上,待润滑油渗漏后,若表面有黑色粉末,用手触摸有阻塞感,则说明润滑油里面杂质已很多,好的润滑油无粉末,用手摸上去干而光滑,且呈黄色痕迹。



真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶液造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。




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