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脉冲激光沉积装置报价在线咨询 沈阳鹏程

脉冲激光沉积简介 随着现代科学和技术的发展,薄膜科学已成为近年来迅速发展的学科领域之一,是凝聚态物理学和材料科学的一个重要研究领域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不仅具有丰富的物理内涵,而且在微电子、光电子、超导材料等领域具有十分广泛的应用。长期以来,人们发明了多种制膜技术和方法:真空蒸发沉积、离子束溅射、磁控溅射沉积、分子束外延、金属有机化学气相沉积、溶胶- 凝胶法等
脉冲激光沉积装置报价






脉冲激光沉积简介

随着现代科学和技术的发展,薄膜科学已成为近年来迅速发展的学科领域之一,是凝聚态物理学和材料科学的一个重要研究领域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不仅具有丰富的物理内涵,而且在微电子、光电子、超导材料等领域具有十分广泛的应用。长期以来,人们发明了多种制膜技术和方法:真空蒸发沉积、离子束溅射、磁控溅射沉积、分子束外延、金属有机化学气相沉积、溶胶- 凝胶法等。系统使用程序化的成像链(OpticalTrain),包括聚焦透镜、反射镜台、动力反射镜支撑架和智能视窗等,无需频繁地校准光学组件。上述方法各有特点,并在一些领域得到应用。但由于其各有局限性,仍然不能满足薄膜研究的发展及多种薄膜制备的需要。随着激光技术和设备的发展,特别是高功率脉冲激光技术的发展,脉冲激光沉积(PLD)技术的特点逐渐被人们认识和接受

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脉冲激光沉积的优点

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1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性;

2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;

3. 工艺参数任意调节,对靶材的种类没有限制;

4. 发展潜力巨大,具有极大的兼容性;

5. 便于清洁处理,可以制备多种薄膜材料。




脉冲激光沉积系统特点及优势

可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,;

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