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R1R2R3基团可以是不同的烃基基团，因此可组合成多样的硅醚。硅醚化合物在保护基化学当中有非常广泛的应用，常用的硅醚有：三硅基 （TMS），叔丁基二硅基（TBDPS），叔丁基二硅基（TBS/TBDMS）和三硅基（TIPS）。
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六二硅氧烷是一种无色透明、易潮解的液体，它不溶于水，但溶于多数，其性能比较稳定，是一种易燃物质，遇高热、明火及强氧化剂易引起燃烧，吸入、口服或经皮肤吸收对身体有害。
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当发生泄露是，应当做好应急处理，迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。并且尽快切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿消防防护服。尽可能切断泄漏源，防止进入下水道、排烘沟等限制性空间。辽宁三甲基氯硅烷厂江苏三甲基氯硅烷价格低湖北三甲基氯硅烷电话。小量泄漏:用砂土蛭石或其它不燃材料吸收。
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