高纯管道在高纯气体输送中的意义 在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体。不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体。当管内气流为不连续流动时,管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时,管材所吸附的气体又形成解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内
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高纯管道在高纯气体输送中的意义
在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体。不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体。当管内气流为不连续流动时,管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时,管材所吸附的气体又形成解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时,吸附、解析周而复始,使得管材内表面金属也会产生一定的粉末,这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。二氧化碳,1、物理性质:无色无味的气体,密度大于空气,能溶于水,固体的CO2叫“干冰”。管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度,不仅要求管材内表面有一个极高的光滑度,而且,应当具有很高的特性。

在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。线宽下对超纯氮气的要求,高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。热处理工艺也用于代替氮气和氨气,效果更是超过氮气和氨气,不锈钢热处理时采用氩气保护折弯效果更好不易断裂。

标准气体的有效期
通常标准气体的使用有效期是根据稳定性试验结果来加以确定的。有效期是指浓度变化率不超过规定指标的时间间隔。钢瓶标准气体浓度很低时,其浓度变化较大,因此从稳定性的现点来看,组分气体浓度越高越稳定。高压钢瓶标准气体的浓度即使在5×10-5以上,钢瓶中的组分气体仍在发生变化,所以一般把能够保证标准值的有效期定为半年至一年。如果有些准气体已超过有效期,但容器中的残压在8MPa(80atm)以上时可以再次测定,确定值后继续使用。随着用户消耗标准气体而残压变化时,被吸附在容器内壁上的各种成分气体便解吸下来,使浓度值发生变化。缺点是焊接时有飞溅,并且焊缝表面较粗糙,焊接过程中还伴有一定的烟雾。一般规定,高压钢瓶标准气体的残压1MPa(l0atm)时,停止使用。

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