氦质谱检漏仪是如何工作的?
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束,并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束
正压氦质谱检漏仪检漏厂家
氦质谱检漏仪是如何工作的?
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束,并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束(如图中M1,M3)则以不同的偏转半径而被分开。
正压法氦质谱检漏的优缺点
正压法的优点是不需要辅助的真空系统,可以准确定位,实现任何工作压力下的检测。
正压法的缺点是检测灵敏度较低,检测结果不确定度大,受测量环境条件影响大。
正压法的检测标准主要有QJ3089-1999《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996《压力容器焊缝氦质谱吸枪罩盒检漏试验方法》,主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏,如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。
真空压力法氦质谱检漏的优缺点
真空压力法的优点是检测灵敏度高,能实现任何工作压力的漏率检测,反映被检件的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂,需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏,或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。
真空压力法的检测标准有GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》,主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品,如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
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