洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的
洁净工程装修
洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净室分类主要分为工业洁净室(无尘)和生物洁净室(无尘无菌)工业洁净室和生物洁净室,其实都属于洁净室,本质上的区别主要是一个针对无尘,一个针对无菌两者主要目的有所区别,因此在设计和施工要有所侧重。工业是适用于精细机械工业电子,工业半导体,集成电路的宇航工业原子能工业光磁产品工业,脑磁头消费等多行业。生物洁净室适用于制药,工业医院手术室,食品,化妆品,饮料产品消费,理化检验室,血站等。洁净室级别划分标准是什么目前对洁净室等级划分的是美国联邦FS 209E标准。常说的100级洁净室说的就是指在1立方英尺的空间内,大于等于0.5微米的粒子必须不多于100个,10级就是1立方英尺的空间,0.5微米的粒子必须不多于10个,1000级则不能多于1000个。洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
净化车间烟控原理及设计方式
近几年来,在我国的新竹科学工业园区内陆续发生了多次半导体厂房火灾事故,虽然所造成的人员伤亡不大,但对于财物的损失却很可观,其数目动辄以数十亿乃至百亿元新台币计算,对业界所造成的损伤与危害可想而知。高温浓烟才是造成财损的元凶,但由于土地取得不易,净化车间厂房多向高楼层发展,高智慧的技术人力及昂贵的设备机台集中在厂房内,万一发生火灾意外,损失将数十倍于一般工厂。此外,高科技净化车间厂房内使用许多的性与性气体,例如SiH4、H2、PH3 等,更增加厂房内的潜在危险,若无适当的对策与措施,因此,为了降低火灾发生时人员的伤亡与财物的损失,必须对建筑物进行烟流控制,这一点新加坡已强制规定执行,而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制法规,其目的都是在降低火灾发生时,高温烟流对员工及设备污染的伤害。
净化车间属于人造的环境,里面含有的粒子远一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(净化车间)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以净化车间为集成电路制造必不能少的因素。
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