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氦质谱捡漏仪检漏方法

氦质谱检漏仪，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。在质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

氦质谱检漏仪是如何工作的？

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1，M3）则以不同的偏转半径而被分开。

氦质谱检漏仪应用行业

单晶硅 ，多晶硅，非晶硅磁性材料，真空炉 ，镀膜机，互感器，避雷器，C-GIS组合电器，电力开关，真空灭弧室，高真空阀门 ，LED外延片，出口灭火器，X射线管，石化换热器，磁流体，密封继电器，气体流量计 ，隔膜压力变送器 ，气体发生器 ，ITO镀膜玻璃 ，LOW-E玻璃 ，压力容器 ，化工容器，低温储罐 ，LNG 低温气瓶 ，玻璃烧结件，陶瓷密封连接器 ，陶瓷烧结件 ，TO封装 ，高真空排气台，真空冻干机 ，光器件，石英晶体谐振器，高压开关，换热器，电真空器件，SF6管路，波纹管，ITO设备，半导体，辐照电线电缆 交联电线电缆，真空钎焊，真空热处理等。