脉冲激光沉积的优点
想了解更多关于脉冲激光沉积的相关资讯,请持续关注本公司。
1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性;
2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;
3. 工艺参数任意调节,对靶材的种类没有限制;
4. 发展潜力巨大,具有极大的兼容性;
5. 便于清洁处理,可以制备多种薄膜材料。
激光脉冲沉积装置报价
脉冲激光沉积的优点
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1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性;
2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;
3. 工艺参数任意调节,对靶材的种类没有限制;
4. 发展潜力巨大,具有极大的兼容性;
5. 便于清洁处理,可以制备多种薄膜材料。
脉冲激光沉积系统特点及优势
可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,;
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脉冲激光沉积选件介绍
激光分子束外延(Laser MBE )
激光MBE 是普遍采用的术语,该法是一种纳米尺度薄膜合成的理想方法,高真空下的PLD 与在线工艺监测的反射高能电子衍射(RHEED)的联合应用,用户提供了类似于MBE 的薄膜生长的单分子水平控制。
正确的设计是成功使用RHEED 和PLD 的重要因数
RHEED 通常在高真空(<10-6 torr)环境下使用。然而,因为在某些特殊情况下,PLD 采用较高的压力,差动抽气是必要的,
维持RHEED 枪的工作压力,同时保持500 mTorr 的PLD 工艺压力。同时,设计完整的系统消除磁场对电子束的影响是至关重要的。Neocera 的激光MBE 系统可以为用户提供在压力达到500 mTorr 时所需的单分子层控制。
以上内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助!
常规沉积条件下的组合合成
脉冲激光沉积系统特点及优势:
沈阳鹏程真空技术有限责任公司拥有的技术,我们都以质量为本,信誉高,我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对脉冲激光沉积感兴趣,欢迎点击左右两侧的在线客服,或拨打咨询电话。
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