动力洗刷
用气动或者电动的毛刷将脏污刷动，然后污物用和气体冲洗相同的方法和方向被吸到真空收集器中。这种方法要求尽可能的小心不至于破坏保温资料的外表。
气体冲洗
这种方法借助连接到风管的配有喷嘴的软管以输送压缩空气。设计喷嘴使得压缩空气能够把尘土和污物驱赶进来。而被压缩空气去干的污物和尘土则顺着风管被输送到真空集容器中。
排气：其主要来源于
矩形弯管供应
动力洗刷
用气动或者电动的毛刷将脏污刷动，然后污物用和气体冲洗相同的方法和方向被吸到真空收集器中。这种方法要求尽可能的小心不至于破坏保温资料的外表。
气体冲洗
这种方法借助连接到风管的配有喷嘴的软管以输送压缩空气。设计喷嘴使得压缩空气能够把尘土和污物驱赶进来。而被压缩空气去干的污物和尘土则顺着风管被输送到真空集容器中。
排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。碱性剥离排气：主要来源为阵列工程的剥离工序所使用之剥离液,废气经过冷凝吸收器,将废气中的剥离液冷却下来,冷凝器吸收处理后的废气所含的废气浓度会大为下降,然后做水洗中和处理，再由风机排大气。应急排气：当洁净室机台端风管内探头感应气体浓度过高时，紧急启用以使生产正常并维持室内环境。
为了便于风道就位，一般多采用将风道吊在脚手架上，然后再将其抬放在风道支架上的方法。脚手架应沿其风道长度方向搭设，高度和位置应适合施工操作，吊装顺序应先干管后支、立管，
吊起时，吊点应牢固，两吊点应均匀受力。垂直风管可采用人工和大绳辅助就位。调整风管保证垂直度要求。
风道调直：就位在支架上的风道，应拨正位置，调整风道横平竖直，然后再按图集要求固定。
（作者： 来源：）
