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武汉市丰派等离子电话「多图」

湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。 工件放人炉内作为阴极,炉体作为阳极,再通人少量氨、氮或氮亚混合气体,然后在两极间施加一定电压使氮电离,氮电离后即以髙速冲击工件,离子的动能转化为热能将工件加热至渗氮温度。 其基本炉
武汉市丰派等离子








湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。



工件放人炉内作为阴极,炉体作为阳极,再通人少量氨、氮或氮亚混合气体,然后在两极间施加一定电压使氮电离,氮电离后即以髙速冲击工件,离子的动能转化为热能将工件加热至渗氮温度。




其基本炉型有罩式、井式、卧式,但是通常以罩式为常见。轰击表面的一部分氮夺取电子后直接渗人工件表面,在工件表面上形成含氮很高的呈蒸发状态的Fe,并不断向工件内部扩散,从而达到渗氮的目的。




双极性脉冲中频靶电源一般带孪生靶或双靶运行。Roth等人用离子捕获原理解释APGD,即当所用工作电压频率高到半个周期内可在极板之间捕获正离子,又不高到使电子也被1捕获时,将在气体间隙中留下空间电荷,它们影响下半个周期放电,使所需放电场强明显降低,有利于产生均匀的APGD。两个靶的工作电压极性相反同时又不断互换极性,电压极性为负时的磁控靶发生溅射,极性为正时的那个磁控靶不产生溅射。由于阴阳极间电场正负极性来回变化,使电子路径延长,与工作气体碰撞次数增加,故单个磁控靶承载同样功率(其它真空环境条件相同)时,选用双极脉冲中频靶电源比用纯直流靶电源和脉冲直流中频靶电源时,工作气体的离化几率和靶材的沉积速率均要高一些。磁控靶阴极电压极性为负时,其单脉冲气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律(趋势)相符。




辉光放电是种低气压放电(Low pressure discharge)现象,工作压力一般都10 mbar,其基本构造是在封闭的容器内放置两个平行的电极板,利用产生的电子将中性原子或分子激发,而被激发的粒子由激发态降回基态时会以光的形式释放出能量。5mm的气体(亚气、氮气、空气)间隙中做了大量的实验,并宣称实现了大气压辉光放电。



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