二手Edwards 分子泵修复爱德华分子泵性能 广州潽拓光电科技

潽拓——{精}，分子泵 广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养 主要特性和优势 占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
二手Edwards 分子泵修复


潽拓——{精}，分子泵


广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养






主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。





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本公司秉持“诚信经营、规范管理、尽善尽美、服务至上。”的经营方式，尊敬的真空泵用户朋友们：如果此刻，你的真空设备出现以上故障，欢迎致电!我们将会安排的技术人员为您提供免费的技术指导和全套满意的方案。





我们要维修leybold,pfeiffer,alcatel,agilent(varian)，shimadzu,Edwards,Osaka等分子泵，我司具备完整的测试设备，可以测试分子泵的启动时间，转速，噪音，极限真空值，渗漏率等相关数据，能在现场能帮客户分析分子泵状态，不需要客户停机。


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Edwards爱德华STP-H200C分子泵维修Seiko Seiki STP-200/STP-H200C/STP-H200C1日本精工精机分子泵进气法兰口VG100/ISO100/ICF152，出气法兰口KF25，抽速可达到270L/s，转速为48000rpm，VG/ISO法兰口极限压力10-7Pa(10-9Torr)，ICF法兰口极限压力10-8Pa(10-10Torr)。






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