多弧离子PVD镀膜设备镀工艺及应用
离子镀基本工艺流程
①工件的预热．
一般的离子镀方法使用烘烤加热装置对工件进行加热，而热阴极离子镀则是利用等离子电子束轰击工件；电弧离子镀是利用金属离子轰击工件，对工件加热，达到预热的目的，有时电弧离子镀也采用辅助烘烤加热装置对工件进行预热。
②离子轰击溅射清洗．
一般离子镀的离子轰击溅射清洗
多弧离子镀膜机厂家
多弧离子PVD镀膜设备镀工艺及应用
离子镀基本工艺流程
①工件的预热．
一般的离子镀方法使用烘烤加热装置对工件进行加热，而热阴极离子镀则是利用等离子电子束轰击工件；电弧离子镀是利用金属离子轰击工件，对工件加热，达到预热的目的，有时电弧离子镀也采用辅助烘烤加热装置对工件进行预热。
②离子轰击溅射清洗．
一般离子镀的离子轰击溅射清洗是基片施加负偏压，利用辉光放电产生的Ar离子轰击基片，对基片进行离子轰击溅射清洗，而热阴极离子镀是利用等离子电子束轰击辅助阳级，Ar离子轰击基片进行离子轰击溅射清洗；电弧离子镀是利用金属离子轰击工件，对工件加热的同时对工件进行离子轰击溅射清洗。
③离子沉积.
不同的离子镀方法在离子沉积时，所使用的源和离化方法不同，具体的设备不同，沉积的膜层不同，其工艺程序和工艺参数也不同，因此，应根据具体情况确定沉积的工艺程序和工艺参数，还应注意在整个沉积过程中保持工艺参数的稳定。
PACVD硬质涂层真空镀膜机系统的特点：
（1）2个等离子激发源（射频，直/直流脉冲）（2）安装在两边的2闭合场非平衡磁控管溅射（3）带有一个前门的六角形真空室，保证一个洁净的环境（4）干式真空系统设计安装在一个单独的空间，处理高吞吐量的碳氢化合物和其他工艺气体（5）基材和导电与非导电涂层及组合原位清洗的离子激发系统（6）可选择的等离子体激发模式和频率使等离子的密度和能量适应基材增压特性，以小压强进行电离作用（8）单独的PACVD工艺中不强制转动的时候，一种行星式转动也能够使溅射涂层统一沉积（9）特别是在PACVD过程特殊设计的进气系统能够优化涂层的均匀性和清洁度（10）泵的选择编排和上下的蒸汽压力调节，保证了涂层系统的高可靠性（11）iFIX基础的控制系统，易于批次、配方和报警处理（12）所有数据的采集，保证良好的过程控制。工艺过程中定制曲线图做到良好检查方案。在批次运行过程中，操作者也可更改或新建工艺（13）用户可自行设置进入控制系统的权限，以保证系统的质量和安全性
真空镀膜机多少钱一台
我们线上每天都会有一两个客户咨询真空镀膜机费用，好多客户都是想先了解一下机器价格，好提做好规划，投入资金购买采购真空镀膜机是否换算，预算是多少，采购设备后，公司盈利是否能增加，这些是都是客户要考虑到的问题，因此很多客户还是比较关注价格的。
大家都知道，真空镀膜机价格各参差不齐，应用到的行业不一样，镀的材质不一样，面积大小不一样，机器配置不一样，都会影响到真空镀膜机的价格。因此要说一台真空镀膜机价格具体多少钱，真的没办法说出具出来，只能说一个大概范围，真空镀膜机从几十万到几百万，甚至上千万都有。比如那种实验室用的镀膜机，可能几十万就能搞定，但是企业用的那种镀大量材质的真空镀膜机有几十万到几百万，不过还是要看行业，还要看镀什么材料，以及客户有什么样的需求。
我们公司真空镀膜机型号都有百余款，每一款设备价格都是不一样的，比如：汽车车灯镀膜机，饰品镀膜机，餐具镀膜机，陶瓷镀膜机，离子镀膜机，光学镀膜机，以及磁控溅射镀膜机，每一种型号都有专门的人员负责，因此，他们能根据客户的需求以及行业、型号、镀的材质，才能报出具体的价格。
因此，当有客户咨询我们价格的时候，我们都会转给我们的负责设备的人员，让他们去和客户详聊，了解客户的需求。有的客户可能只是前期想打听一下真空镀膜机的知识，我们人员也会给客户耐心详细的讲解。
（作者： 来源：）
