20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等技术的需要而发展起来的精度极高的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他技
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20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等技术的需要而发展起来的精度极高的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他技术。
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发展方向
精密加工和超精密加工虽能获得极高的表面质量和表面完整性，但以牺牲加工效率为保证。探索能兼顾效率与精度的加工方法成为超精密加工领球研究人员的目标。如半固着磨粒加工、电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。
尽管随时代的变化，超精密加工技术不断更新，加工精度不断提高，各国之间的研究侧重点有所不同，但促进超精密加工发展的因素在本质上是相同的。这些因素可归结如下。
对产品高可靠性的追求。对轴承等一边承受载荷一边做相对运动的零件，降低表面粗糙度可改善零件的损性，提高其工作稳定性、延长使用寿命。高速高精密轴承中使用的Si3N4。陶瓷球的表面粗糙度要求达到数纳米。加工变质层的化学性质活泼，易受腐蚀，所以从提高零件耐腐蚀能力的角度出发，要求加工产生的变质层尽量小。
介绍下精密机械加工的原则：
纯粹的基础水平考虑的重点是如何减少误差，提，所以选择本质表面的基本原则是：
一：基准重合原则。应选择尽可能的设计基准作为定位基准。特别是在后的完成,保证准确性,更应注意这一原则。这样可以避免造成位置误差基准偏差;
二：基准统一原则。应选择统一的定位基准面的各种表面处理,尽量保证各表面间的位置精度;有时也遵循共同基准的原则,反复加工;
三：自为基准原则。一些小型机械加工余量和统一的精加工过程,确保加工质量和生产率,与精密加工表面本身作为一个基础水平。
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