离子镀膜设备的操作规范是怎样的离子镀膜设备的操作规范是怎样的？
1、设备中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。
3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕
卧式镀膜设备
离子镀膜设备的操作规范是怎样的
离子镀膜设备的操作规范是怎样的？
1、设备中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。
3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱
4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。
5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜材料的利用率，合理匹配沉积源的功率，合理布置沉积源在真空室体的位置。
6、合理布置加热装置，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。
7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设计应使工件膜层均匀。
8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置，维持工作稳定。
浅谈真空镀膜机的定义、原理及应用范围
浅谈真空镀膜机的定义、原理及应用范围
真空镀膜机就是在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜机是指用物理的方法沉积薄膜。
真空镀膜机有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
真空镀膜机技术初现于20世纪30年代，四五十年始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面（通常是非金属材料），属于物理气相沉积工艺。因为镀层常为金属薄膜，故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。在所有被镀材料中，以塑料为常见，其次，为纸张镀膜。相对于金属、陶瓷、木材等材料，塑料具有来源充足、性能易于调控、加工方便等优势，因此种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构材料，大量应用于汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外观不够华丽、性低等缺陷，如在塑料表面蒸镀一层极薄的金属薄膜，即可赋予塑料程亮的金属外观，合适的金属源还可大大增加材料表面性能，大大拓宽了塑料的装饰性和应用范围。
真空设备系统的简单介绍
真空设备系统的简单介绍
真空设备系统是由什么组成的呢？今天我们就来为大家简单介绍一下。
(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。
真空镀膜机注意事项及保养
真空镀膜机注意事项及保养
真空镀膜机的镀膜原理是在高真空条件下，利用电子束对金属或非金属材料加热到适当温度，热蒸发成蒸气分子材料，蒸发出来的分子到处迸射，碰到待镀物体，随之沉积在基材表面形成膜层。真空镀膜机广泛应用于微电子，光学成膜，装饰，表面工程等领域。它在防止油污和工作效率上具有非常好的性能。而想要真空镀膜设备长期稳定的运行，正确的使用及保养方法是必不可少的。
开机前要检查水电气是否正常，开机后，光控系统等于要先稳定1小时再使用，镀膜前要检查光控片、晶控片寿命，加料、清洁之类的需要盖上离子源的防护板，防止离子源栅网损坏。为了使光学镀膜机能正常工作，平时需要对机器进行保养，定期更换泵油，2个月左右为宜，真空泵也2个月一换，新的真空泵需要在使用半个月就立即更换，定期清洁设备及周边环境，保持设备及环境的干净。
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