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流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗 如何选择密封材料
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
气体流量控制器厂家
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流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗 如何选择密封材料
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。质量流量控制器（MassFlowController缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流，或者计算机、PLC提供。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。
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流量控制器特点
1、 稳定的流量供给，不受温度、压力变化
2、 宽量程比，可达100：1
3、 高达0.1%的重复性和1.0级的精度等级
4、 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
5、 内置70余种气体，触屏式直接操作切换，无需重新校准
6、 标配三种显示方式：数字、模拟和本地面板
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流量控制器安全使用准则
①质量流量控制器应用的成功与否，与安装有直接关系。除正常安装要求外，要特别注意减少振动影响，因为质量流量控制器是基于振动原理工作的，外加振动会引入干扰。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。但尽可能小的外界干扰对测量无疑是有益的，所以对来自管线及现场环境的振动要尽量设法避免。
②仪表使用过程中在使用条件下有必要进行准确的零点标定，质量流量控制器属于在线使用的高度测量仪表，零点的漂移对测量结果有影响，长期使用时一定要定期进行标定。
③一定要避免超过使用质量流量控制器范围的情况发生，这会引起仪表测量度的下降，严重时会导致仪表损坏。例如由于超过仪表使用温度范围的蒸汽扫线等操作，将会使检测线圈损坏而使仪表无法再使用。
④质量流量控制器度高，其价格也很高，这就要求对其精心维护，如给其配备高质量的稳压电源，对现场的振动及使用条件进行经常检查等，以保证度及仪表的安全。
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