浙江混合气体流量计计算「厚礼博」

质量流量控制器主要参数

质量流量精度： ±0.002×流量±零点漂移

密度测量精度： ±0.003g／cm3

密度测量范围： 0.5~1.5g／cm3

温度测量范围： ±1°C

传感器相关数据：

环境温度： －40~60°C

介质温度： －50~200°C

防爆类型： iBⅡBT3

关联设备： 配套变送器

(3) 变送器相关数据：

工作温度： 0~60°C

相对湿度： 95%以下

电 源： 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W

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流量控制器

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。质量流量计工作原理质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。

使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制质量流量控制器的低压降产品

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低, 用普通MFC, 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明, 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差0.01MPa的MFC, 这时MFC的工作压差范围, 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在MFC中结露, 结露会影响MFC的正常工作。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。为了防止结露, 可以对管路和MFC适当加温, 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上, 需要特殊购买高温MFC产品。