氦质谱检漏仪的结构
收集极
收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器一极输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），一级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。
真空系统
仪器
锂电氦检专机维修
氦质谱检漏仪的结构
收集极
收集极是对准出口电极狭缝安装的，其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A，要使小电流放大器一极输入信号电压足够大，则输入电阻必需很大（一般高于1010欧），一级放大用的静电计管必须要高度绝缘，所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。
真空系统
仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的检漏仪其真空系统有较大的差别。图5为常见的普通型氦质谱检漏仪真空系统。
双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪
由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。
检漏仪仪器设备特点
全自动氦质谱检漏仪
全自动氦质谱检漏仪的显著优点：
(1)操作简便：检漏仪结合简捷的双键操作功能及内置智能化系统为您提供简单但强大的测试性能。
(2)功能强大：适用于各种检漏方法，优化设计的质谱室及真空系统功能强大，能适合各种检漏方法的要求，以满足各种各样的检漏应用。
(3)配置：多种系统配置，多种可选件，可以灵活地组成各种各样的系统配置。
(4)坚固：在坚固方面的革新设计，使得检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。
（作者： 来源：）
