氦质谱检漏仪的主要配置
科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。今天科仪的小编就和大家分享一下氦质谱检漏仪的
汽车碳罐氦检漏系统
氦质谱检漏仪的主要配置
科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。今天科仪的小编就和大家分享一下氦质谱检漏仪的主要配置有哪些,希望对您有所帮助!
1. 检漏仪分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱模块
以上是科仪为您一起分享的内容,科仪生产氦检漏,欢迎新老客户莅临。
氦质谱检漏仪的基本原理与结构
随着科技的迅猛发展,氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。在产品周围喷氦气,以E-8mbarl/s为合格线如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询,科仪竭诚为您服务。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现,氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等方向发展,这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求,也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质分析器,
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
以上内容由科仪为您提供服务,希望对同行业的朋友有所帮助。
氦质谱检漏仪的应用拓展(四)
(1)制冷行业
冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。
(2)不锈钢保温器皿
真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
(3)其它
据日本有关文章介绍,日本汽车制造业,已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏,解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。
有待于开拓的检漏领域还很多,但由于思想观念的束缚以及经费等诸